Revista de ciencia y tecnología del vacío
| Disciplina | Física |
|---|---|
| Idioma | Inglés |
| Editado por | Eray Aydil |
| Detalles de la publicación | |
| Historia | 1964-presente |
| Editor | Instituto Americano de Física en representación de la Sociedad Americana del Vacío (Estados Unidos) |
| Frecuencia | Bimensual |
| 2.427 (Parte A ) 1.416 (Parte B ) (2020) | |
| Abreviaturas estándar ISO 4 (alt) · Bluebook (alt) NLM (alt) · MathSciNet (alt  ) | |
| ISO 4 | J. Vac. Ciencia y tecnología. |
| Indexación CODEN (alt · alt2) · JSTOR (alt) · LCCN (alt) MIAR · NLM (alt) · Scopus | |
Revista de ciencia y tecnología del vacío | |
| ISSN | 0022-5355 |
Revista de ciencia y tecnología del vacío A | |
| CODIFICAR | JVTAD6 |
| ISSN | 0734-2101 (versión impresa) 1520-8559 (versión web) |
| LCCN | 83643441 |
| OCLC no. | 08697396 |
Revista de ciencia y tecnología del vacío B | |
| CODIFICAR | JVTBD9 |
| ISSN | 0734-211X |
| LCCN | 83642371 |
| OCLC no. | 08697479 |
| Campo de golf | |
| |
El Journal of Vacuum Science and Technology es una revista científica revisada por pares publicada en dos partes, A y B , por el American Institute of Physics en nombre de la American Vacuum Society . Fue fundada en 1964 y el editor en jefe es Eray Aydil ( Universidad de Minnesota ).
Historia
- Revista de ciencia y tecnología del vacío , 1964-1982
- 1983-presente Revista de ciencia y tecnología del vacío A: vacío, superficies y películas
- 1983–1990 Revista de ciencia y tecnología del vacío B: Procesamiento y fenómenos microelectrónicos
- 1991-presente Revista de ciencia y tecnología del vacío B: microelectrónica y estructuras nanométricas
ParteA
La Parte A cubre la ciencia de superficies aplicada , los materiales y el procesamiento electrónicos, la tecnología de fusión, la tecnología del plasma, la ciencia de superficies , las películas delgadas , la metalurgia del vacío y la tecnología del vacío. Según Journal Citation Reports , la revista tiene un factor de impacto de 1,724 en 2015. [1]
ParteB
La Parte B cubre el procesamiento al vacío y con plasma de diversos materiales, su caracterización estructural, la microlitografía y la física y química de estructuras y dispositivos submicrométricos y nanométricos. Según Journal Citation Reports , la revista tiene un factor de impacto de 1,398 en 2014. [2]
Referencias
- ^ "Revista de ciencia y tecnología del vacío, parte A". 2015 Journal Citation Reports . Web of Science (edición científica). Thomson Reuters . 2016.
- ^ "Revista de ciencia y tecnología del vacío, parte B". 2015 Journal Citation Reports . Web of Science (edición científica). Thomson Reuters . 2016.
Enlaces externos
- Sitio web oficial
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