Centímetros cúbicos estándar por minuto ( SCCM ) es una unidad utilizada para cuantificar el caudal de un fluido. 1 SCCM es idéntico a 1 cm³ STP /min. Otra expresión sería Nml/min. Estas condiciones estándar varían según los diferentes organismos reguladores. Un ejemplo de condiciones estándar para el cálculo de SCCM es = 0 °C (273,15 K) [1] y = 1,01 bar (14,72 psia ) y un factor de compresibilidad unitario = 1 (es decir, se utiliza un gas ideal para la definición de SCCM). [2] Este ejemplo es para la industria de fabricación de semiconductores.
Conversión a caudal másico y caudal molar
Para fines de conversión, es útil pensar en un SCCM como el caudal másico de un centímetro cúbico por minuto de un fluido, típicamente un gas, a una densidad definida a una temperatura, , y presión estándar, .
Para convertir un SCCM a la medida del caudal másico en el sistema SI, kg/s, uno se basa en la relación fundamental entre el caudal másico y el caudal volumétrico (ver caudal volumétrico ), [3] [4]
donde es la densidad en algunas condiciones estándar y una ecuación de estado como
donde α es el peso molecular del fluido , el factor de compresibilidad del fluido y la constante universal de los gases . Al incluir en la relación anterior entre y las unidades de medida y su conversión entre corchetes se obtiene
donde está en , en , y está en . Luego, reemplazando con la ecuación de estado anterior se obtiene
Usando esta última relación, se puede convertir un caudal másico en la unidad más familiar de kg/s a SCCM y viceversa con
y
Con esta conversión de SCCM a kg/s, se pueden utilizar las calculadoras de unidades disponibles para convertir kg/s a otras unidades, [5] como g/s del sistema CGS o slug/s.
Con base en las fórmulas anteriores, la relación entre SCCM y el caudal molar en kmol/s viene dada por
y
Ejemplos de conversión
Para algunos ejemplos de uso, considere la conversión de 1 SCCM a kg/s de un gas de peso molecular , donde está en kg/kmol. Además, considere las condiciones estándar de 101325 Pa y 273,15 K, y suponga que el gas es un gas ideal (es decir, ). Usando el método de corchetes unitarios (ver conversión de unidades ) se obtiene:
Considerando el nitrógeno, que tiene un peso molecular de 28 kg/kmol, 1 SCCM de nitrógeno en kg/s viene dado por:
Para hacer lo mismo para 1 SCCM de helio, que tiene un peso molecular de 4 kg/kmol, se obtiene:
Tenga en cuenta que 1 SCCM de helio es menos en kg/s que un SCCM de nitrógeno.
Para convertir 50 SCCM de nitrógeno con las consideraciones anteriores se hace lo siguiente:
Para convertir 1 SCCM a kmol/s se hace lo siguiente:
Unidades relacionadas con la medida del caudal
Una unidad relacionada con el SCCM es el SLM o SLPM, que significa litro estándar por minuto . Su conversión es
Otra unidad relacionada con el SCCM (y el SLM) es el PCCM (y el PLM), que significa centímetro cúbico perfecto por minuto (litro perfecto por minuto). Un PCCM es un SCCM cuando el gas es ideal. En otras palabras, un PCCM es exactamente lo mismo que un SCCM si y solo si se cumplen las relaciones anteriores.
Referencias
^ May, GS, Spanos, CJ (2006). Fundamentos de fabricación de semiconductores y control de procesos . John Wiley and Sons. pág. 110.{{cite book}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link)
^ SEMI (2024). SEMI E12 - Guía para unidades estandarizadas de presión, temperatura, densidad y caudal utilizadas en medidores y controladores de caudal másico. SEMI . Consultado el 24 de marzo de 2024 .
^ Spitzer, DW (1991). Medición de caudal: guías prácticas para medición y control . ISA. pág. 341.
^ Hoffman D., Singh B., Thomas III JH (1998). Manual de ciencia y tecnología del vacío . Academic Press. pág. 377. Bibcode :1998hvst.book.....H.{{cite book}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link)
^ "Guía del NIST para el SI, Apéndice B.9: Factores para unidades enumeradas por tipo de cantidad o campo de la ciencia". Instituto Nacional de Estándares y Tecnología (NIST), Departamento de Comercio de los Estados Unidos, Gobierno de los Estados Unidos . 17 de febrero de 2022. Consultado el 21 de febrero de 2024 .