Microlitografía
La microlitografía es un nombre general para cualquier proceso de fabricación que puede crear una película delgada de materiales protectores con patrones minuciosos sobre un sustrato, como una oblea de silicio , para proteger áreas seleccionadas de este durante operaciones posteriores de grabado , deposición o implantación . [1] [2] El término se utiliza normalmente para procesos que pueden producir de forma fiable características de tamaño microscópico, como 10 micrómetros o menos. El término nanolitografía puede utilizarse para designar procesos que pueden producir características a escala nanométrica , como menos de 100 nanómetros .
La microlitografía es un proceso de microfabricación que se utiliza ampliamente en la industria de los semiconductores y también en la fabricación de sistemas microelectromecánicos .
Procesos
Los procesos específicos de microlitografía incluyen:
- Fotolitografía que utiliza luz proyectada sobre una película de material fotosensible ( fotorresistencia ).
- Litografía por haz de electrones , utilizando un haz de electrones orientable.
- Nanoimpresión
- Litografía de interferencia
- Magnetolitografía
- Litografía por sonda de barrido
- Litografía por carga superficial [3]
- Litografía por difracción [4]
Estos procesos difieren en velocidad y costo, así como en el material al que se pueden aplicar y en la gama de tamaños de características que pueden producir. Por ejemplo, si bien el tamaño de las características que se pueden lograr con la fotolitografía está limitado por la longitud de onda de la luz utilizada, la técnica es considerablemente más rápida y sencilla que la litografía por haz de electrones, que puede lograr características mucho más pequeñas.
Aplicaciones
La principal aplicación de la microlitografía es la fabricación de circuitos integrados ("chips electrónicos"), como memorias de estado sólido y microprocesadores . También se pueden utilizar para crear rejillas de difracción , rejillas de calibración de microscopios y otras estructuras planas con detalles microscópicos.
Véase también
Referencias
- ^ John N Helbert (2001), Manual de microlitografía VLSI . Elsevier Science, 1022 páginas. ISBN 9780815514442
- ^ Bruce W. Smith y Kazuaki Suzuki (2007): Microlitografía: ciencia y tecnología , 2.ª edición. CRC Press, 864 páginas. ISBN 978-0824790240
- ^ S. Grilli, V. Vespini, P. Ferraro (2008): "Litografía de carga superficial para micropatrones directos de PDMS". Langmuir , volumen 24, páginas 13262–13265. doi :10.1021/la803046j PMID 18986187
- ^ M. Paturzo, S. Grilli, S. Mailis, G. Coppola, M. Iodice, M. Gioffré, P. Ferraro (2008): "Litografía de difracción coherente flexible mediante matrices de fase ajustables en cristales de niobato de litio". Optics Communications , volumen 281, páginas 1950–1953. doi :10.1016/j.optcom.2007.12.056
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